Cận cảnh quy trình chế tạo chip bán dẫn tại phòng sạch Đại học Quốc gia TP.HCM
Tóm tắt
Thông qua quy trình chế tạo khép kín trong phòng sạch, Viện Công nghệ Vật liệu Tiên tiến - ĐHQG TP.HCM từng bước làm chủ quy trình chế tạo chip bán dẫn cơ bản.
Cập nhật: 11:17 07/07
Nội dung
Trước khi vào phòng sạch, các nghiên cứu viên phải mặc đầy đủ trang phục chuyên dụng, sau đó đi qua khu vực tắm khí (air shower) nhằm loại bỏ hoàn toàn bụi và các hạt siêu nhỏ bám trên cơ thể..
Trang phục nghiên cứu viên gồm trang phục chuyên dụng và đi qua khu vực tắm khí trước khi vào phòng sạch.
Wafer silicon được làm sạch, oxi hóa tạo lớp cách điện trong buồng lò oxi hóa nhiệt.
Quang khắc wafer bằng photoresist và thiết bị mask aligner để tạo cấu trúc vi mô với độ chính xác cao.
Các chip bán dẫn được cắt ra từ wafer đã quang khắc và kiểm tra chất lượng bằng FT-IR, Raman, XRD, FESEM, AFM.
Viện AMTI có khả năng chế tạo các linh kiện kích thước micro-nano và chip bán dẫn đơn giản.
** - Phòng sạch của Viện AMTI đạt chuẩn Class 1.000 với diện tích 260 m², phục vụ chế tạo vi linh kiện bán dẫn. ** - Thành lập từ ngày 1/7/2025 từ hợp nhất Viện Công nghệ Nano (INT) và Trung tâm Nghiên cứu Vật liệu cấu trúc Nano và Phân tử (INOMAR).
